GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法（英文版）北京翻译公司|北京市翻译|北京文心雕语翻译公司

标准编号	GB/T 13388-1992
标准名称	GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法（英文版）
英文名称	Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
发布日期	1992-02-19
实施日期	1992-10-01
全文页数	6
原版价格	10.00元
是否译文	是
译文报价	150.00元
译文格式	Word/PDF
目录简介	本标准规定了用Ｘ射线技术测量硅片参考面结晶学取向的方法。本标准适用于硅片参考面结晶学取向与参考面规定取向之间角度偏差的测量。硅片直径为 50～125mm，参考面长度为10～50mm。本标准不适用于硅片规定取向在与参考面和硅片表面相垂直的平面内的投影与硅片表面法线之间夹角不小于3° 的硅片的测量。
关键字	GB/T 13388 English Code