GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法光学投影法（英文版）北京翻译公司|北京市翻译|北京文心雕语翻译公司

标准编号	GB/T 14140.1-1993
标准名称	GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法光学投影法（英文版）
英文名称	Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Optical projecting method
发布日期	1993-02-06
实施日期	1993-10-01
全文页数	4
原版价格	10.00元
是否译文	是
译文报价	139.00元
译文格式	Word/PDF
目录简介	本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为声φ40～φ100mm本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准用作仲裁测量方法。
关键字	GB/T 14140.1 English Code