GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法（英文版）北京翻译公司|北京市翻译|北京文心雕语翻译公司

标准编号	GB/T 14142-1993
标准名称	GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法（英文版）
英文名称	Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon by etching techniques
发布日期	1993-02-06
实施日期	1993-10-01
全文页数	7
原版价格	10.00元
是否译文	是
译文报价	220.00元
译文格式	Word/PDF
目录简介	本标准规定了用化学腐蚀显示，并用金相显微镜检验硅外延层晶体缺陷的方法。本标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度测量。硅外延层厚度应大于2μm。测量范围为0~10000cm-2。
关键字	GB/T 14142 English Code