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标准编号  
GB/T 18867-2002
标准名称  
GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫 (英文版)
英文名称  
Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
发布日期  
2002-10-15
实施日期  
2003-04-01
全文页数  
9
原版价格  
10.00元
是否译文  
译文报价  
277.00元
译文格式  
Word/PDF
目录简介  
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。
关键字  
GB/T 18867 English Code
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